Müşteri Arka Plan
Kuruluş, yarı iletkenler için fotoresistler ve elektronik özel gazların üretimi konusunda uzmanlaşmıştır. Fabrikasındaki ozon oksidasyon arıtma süreci yüksek saflıkta oksijen (≥99.2%) tedarikinin istikrarlı olmasını gerektirir ve ekipman, Güney Kore'nin endüstriyel gaz güvenliği standartlarına ve yarı iletken endüstrisinin tozsuz üretim gereksinimlerine uygun olmalıdır.
Temel Sıkıntılar
-
Orijinal sıvı oksijen tedarik modu, nakliye kaybına (yaklaşık %5) sahiptir ve uluslararası sıvı oksijen fiyatlarındaki dalgalanmalardan büyük ölçüde etkilenir, bu da yetersiz tedarik istikrarına yol açar;
-
Yarı iletken malzemelerin üretimi, partikül içeriğini ≤ 0.1μm kontrol etme ve yağ kirliliğini ortadan kaldırma ihtiyacı ile oksijen temizliği için son derece yüksek gereksinimlere sahiptir;
-
Fabrika, Güney Kore'nin katı çevresel emisyon gereksinimlerini karşılarken, kompakt ekipman tasarımı gerektiren sınırlı alana sahiptir.
Çözüm
GNEE, "yağsız proses + çok aşamalı arıtma"özelliğine sahip özelleştirilmiş bir çözüm benimseyerek, bir adet 800Nm³/sa yüksek saflıkta VPSA oksijen sistemi sağladı:
-
İthal yağsız hava kompresörleri seçilir, üç aşamalı filtrelerle (hassas filtrasyon + aktif karbon adsorpsiyonu + yüksek verimli yağ giderme) birleştirilerek, oksijenin partikül içeriğinin 0.05μm'den az ve yağ içeriğinin ≤ 0.001mg/m³ olmasını sağlar;
-
Yüksek verimli lityum bazlı moleküler elekler ve çift kule adsorpsiyon yapısı benimsenir ve adsorpsiyon-desorpsiyon döngüsü optimize edilerek, oksijen saflığı istikrarlı bir şekilde %99.3-%99.5 seviyesinde tutulur;
-
Ekipman, modüler entegre bir tasarım benimser ve taban alanı, geleneksel ekipmanlarınkinden %40 daha küçüktür ve fabrikanın alan gereksinimlerini karşılar.
Uygulama Etkileri
-
İstikrarlı Tedarik: "İhtiyaca göre üretim ve anında kullanım" yerinde oksijen üretim modu gerçekleştirilir, sıvı oksijen tedarikinin yerini tamamen alır. Yıllık nakliye kaybı maliyeti 300.000 ABD dolarından fazla azaltılır ve oksijen saflık dalgalanması ≤ %0.1'dir;
-
Proses İyileştirme: Yüksek saflıkta oksijen, fotoresist arıtma verimliliğini %15 artırır ve ürün verimi %96.2'den %98.5'e yükselir, Samsung Electronics'ten tedarik zinciri sertifikası alınır;
-
Uygunluk ve Enerji Tasarrufu: Ekipman, Güney Kore'nin çevre koruma standartlarından daha düşük atık gaz emisyonları ile ilgili sertifikaları geçmiştir. Birim oksijen enerji tüketimi 0.35kW·sa/m³ olup, Güney Kore'deki yerel ekipmanlardan %8 daha düşüktür.
VPSA Oksijen Jeneratörlerine ek olarak, PSA Oksijen Jeneratörleri, depolama tankları, ısı eşanjörleri ve diğer ürünleri de üretiyoruz. VPSA Oksijen Sistemleri veya diğer ürünlerle ilgileniyorsanız, lütfen info@gneeheatex.com. adresine bir e-posta göndermekten çekinmeyin. Size hizmet vermekten mutluluk duyarız.
![]()
![]()
![]()

