99Yarı iletken üretimi için % 5 yüksek saflıklı PSA oksijen jeneratörü

PSA oksijen jeneratörü(Basınç Swing Adsorption Oksijen Jeneratörü) yarı iletken üretim endüstrisinde önemli bir temiz ekipman.Yüksek saflıkta oksijen üretmek için çift katmanlı moleküler taramalarla (sıradan moleküler taramalar + yüksek saflıkta moleküler taramalar) derin arıtma elde edilir.%5.

Sabit saflık, yüksek temizlik, güvenilir çalışma ve sıfır kirletici emisyon gibi temel avantajlarına sahiptir.Yarı iletken üretimi sırasında oksidasyon ve ince film çöküntüsü gibi süreçlerde oksijen saflığı ve temizliği için katı gereksinimleri karşılayabilenEn üst düzey yapılandırma olarak.PSA oksijen bitkisinin saflığı, bu ekipman tarafından üretilen oksijendeki kirlilikler (nitrojen, nem, karbondioksit vb.) tümü ppm seviyesinin altında kontrol edilir,yeterli oksijen saflığından kaynaklanan çip veriminin azalmasını önlemekYarım iletken üretimi için vazgeçilmez bir temel oksijen tedarik ekipmanıdır.

Yarım iletken üretimi, çip işlemlerinin nanometre ölçeğine (5nm, 3nm) girdiği, hassas üretimin zirvesini temsil eder.Performans bozulmasıOksijen, esas olarak oksidasyon (SiO2 yalıtım katmanları oluşturur) ve yarı iletken üretiminde kimyasal buhar çöküntüsü (CVD) gibi temel süreçlerde kullanılır.Oksijen saflığı doğrudan yalıtım tabakası kalınlığının tekilliğini etkiler, film yapışkanlığı ve çip elektrik performansı.

Sıradan endüstriyel sınıf oksijen (93% saflık) çip yüzeyinde kusur oluşturabilecek azot ve nem gibi kirlilikler içerir ve verimliliğin% 10-20 oranında azalmasına neden olur; bunun aksine, 99.% 5 yüksek saflıkta oksijen, kirlilik içeriğini ppm seviyesinin altında kontrol edebilir., etkili bir şekilde kusur oluşumunun önlenmesi ve çip veriminin %90'ın üzerinde sabit kalmasını sağlamak.PSA oksijen jeneratörüNitrogen, nem ve karbondioksit gibi kirlilikleri havadan derinden kaldırabilir.PSA oksijen bitkisinin saflığıKontrol hassasiyeti, geleneksel oksijen üretimi ekipmanlarının çok daha fazlasını, yarı iletken üretiminin süreç gereksinimlerini tam olarak karşılamaktadır.

Ek olarak, yarı iletken üretimi oksijen temizliği için son derece yüksek gereksinimlere sahiptir. Çıktı gazı 100 sınıfı temiz oda sınıflandırmasını karşılamalıdır (100 parçacıktan fazla ≥ 0.5μm / metre küp hava).PSA oksijen jeneratörüOksijen içindeki küçük parçacıkları filtreleyebilen yüksek verimli bir gaz filtreleme sistemi ile donatılmış, çip yüzeyinde parçacık kirliliğinden kaçınıyor ve çip kalitesini daha da sağlıyor.

Alışveriş yaparkenPSA oksijen jeneratörü, yarı iletken işletmeleri dört temel ilkeye bağlı olmalıdır: "kvalifik saflık, temiz oda uyumluluğu, istikrar ve güvenilirlik ve tedarikçi yeterliliği".

• Saflık açısından, %99.5 oksijen saflığı ve kirlilik içeriği ile yarı iletken işlem gereksinimlerini karşılayan ekipmanları seçmek zorunludur.ve tedarikçilerden üçüncü taraf test raporları (SGS gibi) sunmalarını gerektirir., ITS)
• Temiz oda uyumluluğu açısından, ekipmanın çıkış gaz temizliğinin ≥Sınıf 100 olduğunu ve ekipmanın kabuklarının temiz oda kurulum gereksinimlerini karşıladığını onaylamak gerekir.
• Istikrar ve güvenilirlik açısından, sürekli çalışma süresi ≥8,000 saat/yıl ve çekirdek bileşenleri için garanti ≥3 yıl olan ürünlere öncelik verilmelidir.
• Tedarikçilerin nitelikleri çok önemlidir.PSA tabanlı oksijen tesisiÜretim nitelikleri, ISO9001 kalite yönetim sistemi sertifikası ve ilgili yarı iletken endüstrisi sertifikaları (SEMI sertifikası gibi),ve yarı iletken endüstrisinde başarılı vakalar sunmalarını talep ediyoruz

Satış sonrası hizmet, yarı iletken endüstrisinin yüksek gereksinimlerini karşılamalıdır.ve ekipmanların uzun vadeli istikrarlı çalışmasını sağlamak için hızlı yedek parça tedarik.

99.5% yüksek saflık avantajı ile,PSA oksijen jeneratörüTemizlik kontrolü, temiz gaz çıkışı,ve istikrarlı çalışma performansı yarı iletken süreçleri için güvenilir oksijen tedarik desteği sağlayabilir, chip üreten işletmeler için verimi artırmak ve maliyetleri azaltmak için önemli bir ekipman haline getirir.